Capteur d'ozone (O3) à semi-conducteur
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Le SP3-61 est un capteur de gaz semi-conducteur de dioxyde d'indium/d'étain qui a une sensibilité et une sélectivité élevées à l'ozone. En utilisant ce modèle, la détection de l'ozone est possible à partir de plages de faible concentration.
Un matériau semi-conducteur sensible à l'ozone est finement formé sur le substrat d'alumine sur lequel les électrodes d'or sont imprimées. Un élément chauffant à couche épaisse d'oxyde de ruthénium est imprimé au verso du substrat et placé dans le boîtier en céramique à mailles.
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