Trois types courants d'ensembles de capteurs de pression

Merit Sensor possède et exploite une usine de fabrication de plaquettes, où elle produit la totalité de ses propres MEMS meurent

Au cœur de chaque capteur de pression MEMS se trouve une puce en silicium MEMS. Merit Sensor possède et exploite une usine de fabrication de plaquettes, où elle produit la totalité de ses propres MEMS meurent. L'emballage d'une puce MEMS nécessite un équipement et des compétences spécialisés pour manipuler la puce petite et sensible et pour effectuer un câblage filaire délicat. Par conséquent, de nombreux clients achètent des ensembles de capteurs de pression, dans lesquels la matrice a déjà été montée et câblée. Cet article discutera Merit Sensor's trois types de packages: non rémunéré, compensé passivementet entièrement indemnisé.

Non compensé

L'ensemble capteur de pression le plus basique n'est pas compensé. Dans un boîtier non compensé, la puce MEMS a été montée sur un substrat en céramique avec un matériau de liaison de puce spécial, reliée par fil à des pistes électriques sur la céramique et recouverte d'un capuchon protecteur ou d'un gel. Étant donné que chaque puce de silicium est intrinsèquement unique, la sortie de chacune sera unique. Heureusement, les puces en silicium ont des sorties très reproductibles. Cela signifie que la sortie peut être compensée.

Capteur de pression série PMD - Non compensé

Pour obtenir une sortie précise, le client devra effectuer un certain degré de compensation. Certaines applications se prêtent à une indemnisation effectuée par le client. Les facteurs qui détermineront souvent si la compensation est effectuée par Merit Sensor ou le client comprennent les éléments suivants :

• Prix
• Précision
• Taille
• Signal de sortie

Compensé passivement

Une version plus prête à l'emploi d'un ensemble de capteurs de pression, en particulier pour une utilisation à température ambiante, est une version avec compensation passive. Dans ce cas, l'ensemble capteur de pression est fondamentalement le même qu'un ensemble non compensé ; cependant, les résistances à couche épaisse sur le substrat en céramique ont été découpées au laser, offrant une compensation adéquate de la sortie de la puce à des températures de fonctionnement comprises entre 10 °C et 40 °C.

Capteur de pression série AP – Compensé passivement

Pour des applications telles que la surveillance invasive de la pression artérielle dans une chambre d'hôpital, une compensation dans cette plage de température est suffisante. D'autres avantages de la compensation passive sont le signal analogique pur avec une résolution pratiquement infinie et des temps de réponse en fréquence en microsecondes.

Entièrement compensé

Dans un boîtier de capteur de pression entièrement compensé, le conditionnement du signal (un ASIC intégré) est utilisé pour compenser la sortie de la matrice sur une large plage de températures. Une puce en silicium MEMS ne connaît pas la différence entre la pression et la température, ce niveau de compensation est donc particulièrement critique dans les applications où la température de l'environnement de détection fluctue considérablement ou atteint des sommets ou des creux extrêmes. La compensation par conditionnement de signal peut fournir une sortie linéaire et rendre cette sortie aussi précise que ±1 % de la sortie pleine échelle (±1 % de bande d'erreur totale FS) à des températures de fonctionnement comprises entre -40 °C et 150 °C.

Pont de Wheatstone sur une matrice MEMS avec un ASIC embarqué

Si nous utilisons des pompes à carburant dans les avions et des rampes de carburant dans les véhicules par ex.amples, il est typique que les capteurs de pression soient exposés à des températures extrêmes ; néanmoins, il est essentiel que ces capteurs de pression offrent une sortie précise. Un capteur de pression entièrement compensé serait la solution appropriée.

Capteur de pression série TVC - Entièrement compensé

Il est important de souligner que chaque capteur de pression nécessitera une compensation individuelle, car chacun aura une sortie unique inhérente à sa puce MEMS. De nombreux clients n'ont tout simplement pas le temps ou l'équipement pour effectuer cette opération logistique ou économique pour chaque unité passant par leur chaîne de montage.

Merit Sensor a l'expérience et l'équipement pour gérer cette étape nécessaire pour le client. De plus, il est souvent, mais pas toujours, judicieux d'effectuer une compensation avant que la pièce ne quitte notre établissement. Néanmoins, nous avons laissé des options pour les clients qui choisissent de faire leur propre compensation. Comme toujours, notre responsables commerciaux et équipe technique se fera un plaisir de répondre à toutes les questions connexes.

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