Merit Sensor - Manipulation et montage des MEMS

Merit Sensor produit toutes les matrices sur des plaquettes de silicium de 4 et 6 pouces, qui sont sciées et livrées sur du ruban à découper.

Le ruban à découper est attaché à un cadre de plaquette métallique (voir figure 1) qui convient à la plupart des matrices de collage automatisées. Toute unité marquée d'un point d'encre noire est considérée comme une mauvaise unité.

Réception et stockage des matrices de silicium MEMS

Toutes les plaquettes assemblées sur du ruban à découper seront livrées dans des coques en plastique (voir figure 1), qui sont ensuite insérées dans un sac zip-lock antistatique. Un sac peut contenir plusieurs coquilles avec des gaufrettes. Il y aura une étiquette (voir figure 2) sur chaque benne preneuse, contenant le part number, numéro de bon de commande (le cas échéant), numéro de lot (y compris le numéro de plaquette) et quantité de bonnes matrices. Le numéro de lot et de plaquette sera également écrit sur le ruban à découper.

Les sacs doivent être ouverts uniquement dans une salle blanche et ensuite stockés dans un environnement sombre et sec, de préférence dans une armoire remplie d'azote. La température de stockage des stocks doit être comprise entre 19 et 26 °C. La durée de stockage des plaquettes coupées en dés dans un environnement de stockage approprié est d'environ 5 ans. Un stockage supérieur à 5 ans ou dans un environnement non contrôlé ou différent de celui qui a été spécifié peut entraîner des problèmes de crochetage, tels que le collage des matrices lors du prélèvement et le non-collage des fils en raison de la corrosion des plots de connexion en aluminium sur le meurt.