Comprendre les spécifications communes pour les matrices de silicium MEMS

Pour évaluer la qualité et les performances d'une matrice de silicium MEMS, les clients doivent se fier aux spécifications...

... au moins jusqu'à ce qu'ils puissent tester les pièces par eux-mêmes. Cet article abordera les spécifications les plus courantes liées à ces matrices de capteurs de pression.

La principale chose à comprendre à propos des matrices MEMS est que lorsqu'elles sont exposées à la pression ou à la température, elles produiront une sortie correspondante, qui sera en millivolts, à condition qu'une tension d'entrée, ou tension d'excitation, ait été fournie. La sortie en millivolts de la puce MEMS est essentiellement la valeur de la pression. Par conséquent, la caractéristique générale à rechercher dans toute puce MEMS est une sortie stable et reproductible lorsque la puce est testée dans diverses conditions.

Lisez l'article complet dans le lien ci-dessous pour découvrir les spécifications courantes utilisées pour caractériser les performances d'une puce de capteur de pression dans différentes conditions de fonctionnement.