Tout sur les capteurs du spectromètre de propriétés moléculaires

NevadaNano a intégré plusieurs capteurs chimiques complémentaires sur une seule puce de silicium MPS capteur.

Le réseau breveté de micro-catilevers de la puce avec éléments de détection piézoélectriques intégrés permet un actionnement électrique et une détection de la fréquence de résonance.

Le spectromètre de propriétés moléculaires (MPS) utilise résonance pour mesurer de très petites masses d’une variété d’espèces chimiques. Contrairement aux approches plus coûteuses, les capteurs piézoélectriques constituent un moyen robuste et peu coûteux de surveiller électriquement les gaz.

Grâce à ses résistances chauffantes intégrées, le MPS peut effectuer une large gamme d'analyses thermiques et même nettoyer chaque capteur après traitement.ample. Utilisant la technologie des systèmes microélectromécaniques (MEMS) dans une conception industrielle robuste, le MPS ne dérive pas, ne se désintègre pas et ne s'empoisonne pas et ne nécessite aucun entretien tout au long de sa durée de vie.

Tirant parti de la petite taille des éléments de détection piézoélectriques MEMS, les capteurs peuvent chauffer jusqu'à des centaines de degrés Celsius, effectuer diverses mesures thermiques de haute précision, puis revenir à température ambiante en quelques millisecondes. D'autres composants intégrés permettent au capteur de détecter des masses à l'échelle d'un picogramme et de mesurer la température avec une résolution de 0.01 degré. Le capteur MPS peut fonctionner à des températures de -40°C à 75°C et sous tous les niveaux d'humidité sans condensation. Basés sur cette technologie, les produits disponibles aujourd'hui comprennent :

• Capteur de gaz inflammable MPS
• MPS A2L Refrigeracapteur de gaz nt
• Capteur de gaz méthane MPS

Un capteur MPS de qualité de l’air intérieur (QAI), capable de distinguer les composés toxiques et non toxiques, est attendu dans un avenir proche.

(d'après un article publié sur Conseils sur les capteurs)